Ablagerung von Metallfilmen auf Verteilungsschichten durch die Atomschichtablagerung und organometallische Vorläuferkomplexe davon

EP2060576 Art A1 20. Mai 2009

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2060576
Aktenzeichen
EP08169165
Anmeldetag
14. November 2008
Veröffentlichung
20. Mai 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C07F1/00C07F19/00C23C16/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Air Products and Chemicals, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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