Verfahren und Vorrichtung zur Ortsaufgelösten Bestimmung der Phase und Amplitude des Elektromagnetischen Feldes in der Bildebene einer Abbildung eines Objektes

EP2062019 Art B1 6. Februar 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2062019
Aktenzeichen: EP07801502
Anmeldetag: 3. August 2007
Veröffentlichung: 6. Februar 2019
Erteilung: 6. Februar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G01J9/00G02B27/46G03F1/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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