Amporphes Ge/Te Beschichtungsverfahren

EP2062995 Art B1 21. November 2012

Anmelder: Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2062995
Aktenzeichen
EP08019157
Anmeldetag
31. Oktober 2008
Veröffentlichung
21. November 2012
Erteilung
21. November 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/30C23C16/455C07F7/30C23C16/448C23C16/56H01L45/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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