Verfahren zum Erzielen eines Rastertransmissionsbildes einer Probe in einer teilchenoptischen Vorrichtung

EP2063449 Art B1 13. April 2011

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2063449
Aktenzeichen
EP08169468
Anmeldetag
20. November 2008
Veröffentlichung
13. April 2011
Erteilung
13. April 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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