Verwaltungssystem zur Herstellung von Halbleitern

EP2063456 Art A3 9. Dezember 2009

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2063456
Aktenzeichen: EP09001452
Anmeldetag: 17. September 2003
Veröffentlichung: 9. Dezember 2009
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/418H01L21/02H01L21/027H01L23/544H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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