Gerät und Verfahren zur Beobachtung von Fehlern in Halbleiterscheiben
EP2068160
Art B1
18. Februar 2015
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2068160
- Aktenzeichen
- EP08170761
- Anmeldetag
- 5. Dezember 2008
- Veröffentlichung
- 18. Februar 2015
- Erteilung
- 18. Februar 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01R31/307H01J37/26H01J37/304H01J37/305// G01N1/00H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
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