Multivariat-Mehrfachmatrixanalyse aus analytischen und Sensordaten

EP2068277 Art A1 10. Juni 2009

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2068277
Aktenzeichen: EP08161259
Anmeldetag: 28. Juli 2008
Veröffentlichung: 10. Juni 2009
Rechtsraum: EP
IPC: G06Q30/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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