Radial Erweiterte Plasmaerzeugungsvorrichtung

EP2068602 Art B1 29. Juni 2016

Anmelder: Ferrotec Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2068602
Aktenzeichen
EP07828523
Anmeldetag
27. September 2007
Veröffentlichung
29. Juni 2016
Erteilung
29. Juni 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H05H1/24C23C14/24C23C14/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ferrotec Corporation
Land
🇯🇵 Japan
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