Vakuumpumpe und Verfahren zum Betrieb

EP2071186 Art B1 22. November 2017

Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2071186
Aktenzeichen
EP08020360
Anmeldetag
22. November 2008
Veröffentlichung
22. November 2017
Erteilung
22. November 2017
Rechtsraum
EP
IPC
F04B25/00F04B37/14F04B49/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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