Für die Cvd/ald Metallischer Dünner Filme Geeigneter Antimon- und Germaniumkomplexe
EP2078102
Art B1
14. November 2012
Anmelder: Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2078102
- Aktenzeichen
- EP07758383
- Anmeldetag
- 12. März 2007
- Veröffentlichung
- 14. November 2012
- Erteilung
- 14. November 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F7/30H01L45/00C23C16/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Advanced Technology Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Technology Materials
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
458 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
ABG Patentes, S.L
Madrid, Spanien
2.380
Patente gesamt
34
Fachgebiete
37
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ABG Intellectual Property Law, S.L
ABG Intellectual Property Law, S.L · Madrid