Verfahren zum Bewegen von Flüssigmaterial mittels eines Kristalloszillators

EP2083256 Art B1 25. Dezember 2019

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2083256
Aktenzeichen
EP07832048
Anmeldetag
16. November 2007
Veröffentlichung
25. Dezember 2019
Erteilung
25. Dezember 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G01N29/02B01F13/00B01F11/02G01N29/036G01N29/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Kanzlei
Mitscherlich PartmbB München, Deutschland

Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.

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