Untersuchungseinrichtung und Untersuchungsverfahren

EP2088441 Art B1 15. Januar 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2088441
Aktenzeichen: EP07829980
Anmeldetag: 17. Oktober 2007
Veröffentlichung: 15. Januar 2014
Erteilung: 15. Januar 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G01R1/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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