TEM mit Aberrationskorrektor und Phasenplatte

EP2091062 Art A1 19. August 2009

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2091062
Aktenzeichen
EP08151369
Anmeldetag
13. Februar 2008
Veröffentlichung
19. August 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/153H01J37/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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