Verfahren zur Bildung eines Leitfähigen Films, Dünnschichttransistor, Tafel mit Dünnschichttransistor und Verfahren zur Herstellung eines Dünnschichttransistors
EP2091072
Art A1
19. August 2009
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2091072
- Aktenzeichen
- EP07829652
- Anmeldetag
- 12. Oktober 2007
- Veröffentlichung
- 19. August 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/285G02F1/1343G02F1/1368G09F9/00H01L21/28H01L21/3205H01L21/336H01L23/52H01L29/786C23C14/00C23C14/18H01L23/532H01L29/45H01L29/49H01L21/768H01L27/12G02F1/1362
Abstract
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Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Kanzlei
Mitscherlich PartmbB
München, Deutschland
Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.
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