Spaltungs- und Design-Richtlinien zur Doppelstrukturierung
EP2093616
Art A1
26. August 2009
Anmelder: IMEC 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2093616
- Aktenzeichen
- EP09153324
- Anmeldetag
- 20. Februar 2009
- Veröffentlichung
- 26. August 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F1/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IMEC
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Wauters, Davy Erik Angelo
Boortmeerbeek, Belgien
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