Elektronenstrahlgerät

EP2096662 Art B1 22. Januar 2014

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2096662
Aktenzeichen: EP09002591
Anmeldetag: 24. Februar 2009
Veröffentlichung: 22. Januar 2014
Erteilung: 22. Januar 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/147H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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