Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle und Vorrichtung zur Herstellung einer Solarzelle

EP2096679 Art A1 2. September 2009

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2096679
Aktenzeichen: EP07831279
Anmeldetag: 6. November 2007
Veröffentlichung: 2. September 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/04C23C16/42C23C16/511H01L21/316H01L21/318H05H1/46C23C16/30C23C16/40

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von