Polierschlämme auf Wasserbasis zum Polieren eines Siliziumcarbid-Einkristallsubstrats und Polierverfahren dafür

EP2100325 Art A1 16. September 2009

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2100325
Aktenzeichen: EP07851023
Anmeldetag: 17. Dezember 2007
Veröffentlichung: 16. September 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/04B24B37/005C09K3/14C30B29/36H01L29/16B24B37/04C30B33/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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