Halbleiterwafer mit Heteroepitaxialschicht und Verfahren zur Herstellung des Wafers

EP2104135 Art B1 12. Juni 2013

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2104135
Aktenzeichen
EP08005334
Anmeldetag
20. März 2008
Veröffentlichung
12. Juni 2013
Erteilung
12. Juni 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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