Ausrüstung und Verfahren zur Mems-Ätzung

EP2104948 Art A2 30. September 2009

Anmelder: QUALCOMM MEMS Technologies, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2104948
Aktenzeichen
EP08714221
Anmeldetag
18. Februar 2008
Veröffentlichung
30. September 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
QUALCOMM MEMS Technologies, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Qualcomm MEMS Technologies

Qualcomm MEMS Technologies war eine Konzerngesellschaft von Qualcomm, die reflektive MEMS-Displaytechnik (Mirasol) für mobile Endgeräte entwickelte. Das Portfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Anzeige- und Signaltechnik, ergänzt durch Halbleitertechnik. Anmeldungen sind von 2002 bis 2016 belegt.

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