Rasterelektronenmikroskop mit einem Film als Probenhalter und einer Schale zum Auffangen von Probenmaterial eines beschädigten Films

EP2105727 Art B1 16. März 2016

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2105727
Aktenzeichen
EP09250792
Anmeldetag
20. März 2009
Veröffentlichung
16. März 2016
Erteilung
16. März 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G01N23/22H01J37/22H01J37/20H01J37/28G01N23/225H01J37/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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