Amorpher Kohlenstofffilm, Halbleiterbauelement, Filmbildungsverfahren, Filmbildungsvorrichtung und Speichermedium

EP2105953 Art A1 30. September 2009

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2105953
Aktenzeichen: EP07832893
Anmeldetag: 30. November 2007
Veröffentlichung: 30. September 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/314C23C16/26H01L21/31H01L21/768H01L23/522

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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