Flüssigreiniger zur Entfernung von Post-Etch-Residues

EP2108039 Art A2 14. Oktober 2009

Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2108039
Aktenzeichen: EP07855331
Anmeldetag: 21. Dezember 2007
Veröffentlichung: 14. Oktober 2009
Rechtsraum: EP
IPC: C11D11/00C11D3/02C11D3/24C11D1/62C11D7/08C11D7/28C11D3/00C11D3/43C11D7/50

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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