Mikrowellen-Plasma-Cvd-System

EP2108714 Art B1 12. März 2014

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2108714
Aktenzeichen
EP07707612
Anmeldetag
29. Januar 2007
Veröffentlichung
12. März 2014
Erteilung
12. März 2014
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/511C30B29/04H01L21/205H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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