Verfahren zur Bildung eines Chalcogenidfilms und Verfahren zur Herstellung eines Aufzeichnungselements

EP2109142 Art A1 14. Oktober 2009

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2109142
Aktenzeichen
EP08703828
Anmeldetag
24. Januar 2008
Veröffentlichung
14. Oktober 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L27/105C23C14/34H01L45/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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