Vorläufer für CVD-Siliziumcarbonitrid-Schichten
EP2110459
Art B1
8. August 2012
Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2110459
- Aktenzeichen
- EP09161603
- Anmeldetag
- 11. Mai 2006
- Veröffentlichung
- 8. August 2012
- Erteilung
- 8. August 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/36
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Air Products and Chemicals, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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Vertreten von
Muir, Benjamin M. J
London, Großbritannien
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