Halbleiterbauelement und Verfahren zu Seiner Herstellung

EP2112685 Art A1 28. Oktober 2009

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2112685
Aktenzeichen: EP07860208
Anmeldetag: 26. Dezember 2007
Veröffentlichung: 28. Oktober 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L21/314H01L23/522

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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