Abscheidungsquelle, Abscheidungsvorrichtung und Verfahren zur Bildung eines Dünnen Organischen Films
EP2116629
Art A1
11. November 2009
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2116629
- Aktenzeichen
- EP08711628
- Anmeldetag
- 20. Februar 2008
- Veröffentlichung
- 11. November 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/24C23C14/12C23C14/28H01L51/50H05B33/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Kanzlei
Mitscherlich PartmbB
München, Deutschland
Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.
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Körber, Wolfhart
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