Verfahren zur Herstellung eines Siliziumwafers.

EP2117038 Art B1 28. Februar 2018

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2117038
Aktenzeichen: EP09159574
Anmeldetag: 6. Mai 2009
Veröffentlichung: 28. Februar 2018
Erteilung: 28. Februar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/322

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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