Verfahren zur Bildung eines Mehrschichtigen Films und Vorrichtung zur Bildung eines Mehrschichtigen Films
EP2119806
Art A1
18. November 2009
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2119806
- Aktenzeichen
- EP07859876
- Anmeldetag
- 20. Dezember 2007
- Veröffentlichung
- 18. November 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/04C23C14/06C23C14/34H01L21/31H01L41/22C23C28/00C23C14/08C23C14/35C23C14/02C23C14/56H01G4/33H01G7/06H01G4/12H01L21/316H01L41/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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