Positionierungsverfahren für ein Distanzstück

EP2138891 Art A1 30. Dezember 2009

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2138891
Aktenzeichen
EP08739656
Anmeldetag
2. April 2008
Veröffentlichung
30. Dezember 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G02F1/1339B05D1/26B05D3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Kanzlei
Mitscherlich PartmbB München, Deutschland

Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.

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