Verfahren zur Bestimmung des Dotierprofils einer teilweise aktivierten dotierten Halbleiterregion

EP2139033 Art A3 4. April 2012

Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven, IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2139033
Aktenzeichen
EP09163837
Anmeldetag
26. Juni 2009
Veröffentlichung
4. April 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/66G01N21/17
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 Katholieke Universiteit Leuven

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