Wellenlängenumsetzungselement, Wellenlängenumsetzungsverfahren, Phasenabstimmverfahren und Lichtquellenanordnung

EP2148241 Art A1 27. Januar 2010

Anmelder: Nikon Corporation, National Institute for Materials Science 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2148241
Aktenzeichen
EP08740582
Anmeldetag
17. April 2008
Veröffentlichung
27. Januar 2010
Rechtsraum
EP
IPC
G02F1/37G02F1/355
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Nikon Corporation
National Institute for Materials Science
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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🇯🇵 National Institute for Materials Science

Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.

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