Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Relativen Overlay-Verschiebung Gestapelter Schichten
EP2150855
Art B1
22. Mai 2013
Anmelder: Carl Zeiss SMS GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2150855
- Aktenzeichen
- EP08716358
- Anmeldetag
- 7. März 2008
- Veröffentlichung
- 22. Mai 2013
- Erteilung
- 22. Mai 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMS GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Müller, Utz
Jena, Deutschland
6
Patente gesamt
4
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte