Müller, Utz
Jena, Deutschland
Seit Datenerfassung
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Inaktiv — Keine Patentveröffentlichung in den letzten 12 Monaten.
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Patente gesamt
4
Fachgebiete
2
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Patente
6 gesamt| Patent | |||
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01.04.2020 · Carl Zeiss SMT GmbH
Verfahren zur Verarbeitung eines Objekts mit miniaturisierten Strukturen
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17.12.2014 · Carl Zeiss SMT GmbH
Reflektives Röntgenmikroskop und Inspektionssystem zur Untersuchung von Objekten mit Wellenlängen 100nm
EP1455365
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 08.05.2003
Anhängig
Vertretung
Müller, Utz · Jena
Dr. Weitzel & Partner · Heidenheim
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22.05.2013 · Carl Zeiss SMS GmbH
Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Relativen Overlay-Verschiebung Gestapelter Schichten
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25.07.2012 · Carl Zeiss SMS GmbH
Verfahren zum Verarbeiten eines Objekts mit Miniaturisierten Strukturen
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Status
Angemeldet am 24.02.2009
Erteilt am 25.07.2012
Vertretung
Müller, Utz · Jena
Carl Zeiss AG - Patentabteilung · Oberkochen
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10.11.2010 · Carl Zeiss SMT AG
Reflektives Roentgenmikroskop zur Untersuchung von Objekten mit Wellenlaengen = 100NM in Reflexion
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Status
Angemeldet am 08.05.2003
Erteilt am 10.11.2010
Vertretung
Müller, Utz · Jena
Dr. Weitzel & Partner · Heidenheim
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21.07.2010 · Pixer Technology Ltd.
Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur von Platzierungsfehlern auf Masken
EP2209046
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
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Patente nach Jahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung: so viele Anmeldungen sind für das Jahr insgesamt zu erwarten.
Fachgebiete
Regionen · Anmelder
Deutschland
5
Israel
1