Zerstörungfreie Unteroberflächen-Ultraschallmikroskopie auf Waferniveau unter Verwendung von Nahfeld-Afm-Detektion

EP2150973 Art B1 6. Mai 2020

Anmelder: Bruker Nano, Inc., VEECO INSTRUMENTS INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2150973
Aktenzeichen: EP08755335
Anmeldetag: 12. Mai 2008
Veröffentlichung: 6. Mai 2020
Erteilung: 6. Mai 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66G01N29/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Bruker Nano, Inc.
VEECO INSTRUMENTS INC.
Land: 🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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