Verfahren zur Fertigung eines Werkstücks mit einem fokussierten Teilchenstrahl
EP2151847
Art A1
10. Februar 2010
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2151847
- Aktenzeichen
- EP09167310
- Anmeldetag
- 6. August 2009
- Veröffentlichung
- 10. Februar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317G01N1/28H01L21/31H01L21/3205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
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Schwerpunkte