Verfahren zum Aufbringen von metallischen Strukturen auf einem Substrat
EP2151854
Art A3
16. November 2011
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2151854
- Aktenzeichen
- EP09167311
- Anmeldetag
- 6. August 2009
- Veröffentlichung
- 16. November 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/288// H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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