Verfahren zur Ermittlung von Eigenschaften eines Transistors in einem integrierten Schaltkreis
EP2151859
Art A3
17. August 2011
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2151859
- Aktenzeichen
- EP09167312
- Anmeldetag
- 6. August 2009
- Veröffentlichung
- 17. August 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66// H01L21/288
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Fachgebiete
Weitere Vertreter
-
Bakker, Hendrik
NoneEindhoven