Verfahren zur Trockenreinigung einer Plasmaverarbeitungsvorrichtung
EP2157601
Art A1
24. Februar 2010
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2157601
- Aktenzeichen
- EP08764810
- Anmeldetag
- 28. Mai 2008
- Veröffentlichung
- 24. Februar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065H01L21/8246H01L27/105H01L41/187H01L41/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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