Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl von Herstellungs-Wafern

EP2157602 Art A1 24. Februar 2010

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2157602
Aktenzeichen: EP08014803
Anmeldetag: 20. August 2008
Veröffentlichung: 24. Februar 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/762

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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