Siliciumwafer und Herstellungsverfahren dafür

EP2159828 Art B1 16. Januar 2013

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2159828
Aktenzeichen
EP09168545
Anmeldetag
25. August 2009
Veröffentlichung
16. Januar 2013
Erteilung
16. Januar 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/261H01L21/322C30B29/06C30B15/20// H01L21/331H01L29/739
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
SUMCO Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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