Vorrichtung und Methode zur Herstellung von silizium-basierten Detektoren mit laser-mikrostrukturierten schwefel-dotierten Oberflächenschichten

EP2164107 Art A3 15. September 2010

Anmelder: The President and Fellows of Harvard College 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2164107
Aktenzeichen: EP09015646
Anmeldetag: 23. September 2005
Veröffentlichung: 15. September 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/0236H01L31/18H01L21/268H01L21/324H01L31/0288B23K26/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The President and Fellows of Harvard College
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Harvard University

US-amerikanische Elite-Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts. Harvard betreibt Forschung und Patentierung in zahlreichen Feldern, insbesondere Biotechnologie, Medizin, Life Sciences und Materialwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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