Substratübertragungsroboter
EP2166567
Art B1
9. April 2014
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2166567
- Aktenzeichen
- EP08790736
- Anmeldetag
- 30. Juni 2008
- Veröffentlichung
- 9. April 2014
- Erteilung
- 9. April 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/687H01L21/677
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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