Verfahren zur Messung des Oberflächenprofils einer Probe und Vorrichtung zur Messung des Oberflächenprofils einer Probe
EP2172736
Art A1
7. April 2010
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2172736
- Aktenzeichen
- EP08778096
- Anmeldetag
- 11. Juli 2008
- Veröffentlichung
- 7. April 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B5/20G01B5/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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