Korrektor von chromatischen Aberrationen für Ladungsträgerstrahlsystem und Korrekturverfahren dafür
EP2172960
Art B1
13. Februar 2013
Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2172960
- Aktenzeichen
- EP09252365
- Anmeldetag
- 6. Oktober 2009
- Veröffentlichung
- 13. Februar 2013
- Erteilung
- 13. Februar 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/153H01J37/145
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- JEOL LTD.
JEOL Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JEOL
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.
288 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
2.091
Patente gesamt
33
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Boult Wade Tennant LLP
Boult Wade Tennant LLP · London
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