Duplikation und Transfer von Mikrostrukturen und Nanostrukturen

EP2177950 Art B1 27. März 2013

Anmelder: The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University, The Board of Trustees of The Leland Stanford Junior University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2177950
Aktenzeichen
EP10000343
Anmeldetag
17. September 2003
Veröffentlichung
27. März 2013
Erteilung
27. März 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00H01L21/31H01L21/469
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University
The Board of Trustees of The Leland Stanford Junior University
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University

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