Verfahren zum Trockenätzen von magnetischen Materialen
EP2184380
Art A1
12. Mai 2010
Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2184380
- Aktenzeichen
- EP10001013
- Anmeldetag
- 26. Juli 2004
- Veröffentlichung
- 12. Mai 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23F4/00H01F41/30H01F1/14H01F1/34H01L21/3213G11B5/31
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Canon Anelva Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon Anelva
Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.
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