Optische Messvorrichtung, spektroskopisches Ellipsometer, Aufzeichnungsmedium und Messverfahren

EP2184577 Art A1 12. Mai 2010

Anmelder: HORIBA, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2184577
Aktenzeichen
EP09175052
Anmeldetag
4. November 2009
Veröffentlichung
12. Mai 2010
Rechtsraum
EP
IPC
G01B11/06G01N21/21
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HORIBA, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Horiba

Horiba ist ein japanischer Hersteller wissenschaftlicher und analytischer Messinstrumente. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Softwarethemen. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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