Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Wellenfrontabweichungen sowie Verfahren zur Einstellung von Wellenfrontabweichungen

EP2184596 Art B1 14. November 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2184596
Aktenzeichen: EP08828535
Anmeldetag: 13. August 2008
Veröffentlichung: 14. November 2018
Erteilung: 14. November 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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